技术编号：5269510
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了，通过添加辅助结构使得加工的大高宽比微纳结构在干燥过程中受控倒伏，利用微纳结构有规律的倒伏来实现微纳结构的加工。微纳结构受表面张力的作用是相互靠近的，在其周围添加辅助结构来限制他们在某些方向上的运动，可以控制微纳结构朝着所需的方向倒伏，本发明基于现有工艺，通过将干燥过程带来的微纳结构不可控的无规倒伏变为可控的有规律倒伏来满足加工的需求。专利说明 [0001] 本发明涉及微纳加工的，特别是涉及，该 方法为一种大高宽比微纳结构的倒伏控制工艺。...
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