技术编号：5269589
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供，具体步骤如下在洁净的衬底材料表面制备非晶碳层，碳层的厚度为2-6纳米；将制备有非晶碳层的衬底放入真空室，抽真空至体系真空度达到2*10-3Pa以下；开启电子枪，将电子束汇聚至衬底表面，电子束的束流强度为103-105e*s^(-1)*nm^(-2)，经过10-200分钟的电子束辐照后即在电子束辐照点位置制备得到富勒烯材料。可以定点在特定位置制备单个的富勒烯颗粒；可以获得不同层数的富勒烯材料；所获得的富勒烯材料结构状态良好。专利说明 [00...
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