技术编号：5269689
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及硅及氮化硅纳米颗粒生产领域，特别涉及一种用于生产硅及氮化硅纳米颗粒的装置。本发明的装置采用在进气盖与石英盖上设置相应的圆锥体，并且合理分布石英盖上的外沿环状平板部分上的孔，实现了等离子体的分布均匀，使纳米颗粒的尺寸分布更窄。专利说明一种用于生产硅及氮化硅纳米颗粒的装置 [0001]本发明涉及硅及氮化硅纳米颗粒生产领域，特涉及一种用于生产硅及氮化硅纳米颗粒的装置。 背景技术 [0002]纳米结构具有尺寸小、比表面积大、比表面能高等特点，同...
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