技术编号：5269838
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电容式压力传感器，具体涉及，属于微机械电子。背景技术在现代工业生产、科学研究及日常生活中，凡是利用液体、气体或蒸汽等作为传递介质的都要体现压力的作用。为了保证生产和科研能正确控制、顺利实施，需要利用压力传感器来指示压力的有无、大小和变化等情况。其中，电容式压力传感器因其低功耗、高灵敏度、高输出阻抗、以及良好的动态响应特性等优点，已成为压力传感器研究的一大热点。电容式压力传感器的基本结构由两部分组成，即包括固定电极8的基片B和包括可动电极9的膜片A...
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