两嵌段共聚物直接组装纳米结构的装置的制作方法技术资料下载

技术编号:5269881

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本实用新型涉及属于纳米结构制造领域,尤其涉及一种模板和电场诱导两嵌段共 聚物直接组装纳米结构的装置。背景技术纳米结构制造是纳米技术研究和应用的基础和关键,目前纳米结构的制造主要通 过两种途径一种是“自上而下(Top-down)”方法(例如电子束直写、光学光刻、聚焦粒子 束、刻蚀、纳米压印、软光刻等),另一种是“自下而上(Bottom-up)”方法(例如扫描探针显微 加工、蘸笔纳米光刻、生物分子自组装、模板辅助自组装等)。嵌段共聚物自组装是近年发展 起来的一...
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