技术编号：5269900
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于微机电系统MEMS中的微惯性传感器技术，特别是一种双轴谐振式硅微加速度计。背景技术谐振式硅微加速度计是典型的MEMS惯性传感器，其研究始于20世纪70年代初， 现有电容式、压电式、压阻式、热对流、隧道电流式和谐振式等多种形式。谐振式硅微加速度计的独特特点是其输出信号是频率信号，它的准数字量输出可直接用于复杂的数字电路， 具有很高的抗干扰能力和稳定性，而且免去了其它类型加速度计在信号传递方面的诸多不便，直接与数字处理器相连。目前美国Draper...
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