双针纳米结构研究开发系统的制作方法技术资料下载

技术编号:5269943

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本发明涉及一个能够实现纳米结构的在线构筑,并对纳米结构形成的动态过程及其现象、效应、性能、功能、结构、机理和控制进行研究、检测和开发的双针纳米结构研究开发系统。背景技术 场发射显微术是人类第一个实现原子尺度分辨率的显微技术,并形成一套特有的针状样品的制作、修饰及清洁方法和显微分析技术。扫描隧道显微术(STM)不仅是探测表面原子结构的工具,而且对针尖位置的精确控制和量子效应的检测具有独特的技术优势。虽然STM已经发展成包括原子力扫描隧道显微镜等十多种扫描样品...
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