技术编号：5269970
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于制备增强的由硅制成的微机械部件(piSces de micromecanique)的方法。它是制造硅制微机械部件的方法，其为所述部件提供提高的机械强度，特别地抗冲击性，和优良的摩擦性质。本发明更具体地涉及这种用作适用于微机械部件(其被布置以与其它部件摩擦接触、该微机械部件相对于这些其它部件运动)的方法。这些微机械部件同样可以是运动部件(如，例如绕轴旋转部件)或固定部件(如，例如轴承)。 它例如是，作为非限制实例，用于机械钟表运动的微机械部件。...
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