技术编号：5269974
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及集成电路切换器及其制造方法；更具体而言，本发明涉及集成MEMS切换器、设计结构及这种切换器的制造方法。背景技术在3D与其它集成电路中所使用的集成电路切换器可由固态结构(例如晶体管) 或无源布线(MEMS)形成。一般系使用MEMS切换器，因为其几乎理想的隔离性，这是用于功率放大器(PA)模式切换的无线射频应用的一项关键要求，且其于IOGHz以上的频率下具有低插入损耗(即，电阻)。MEMS切换器可用于各种应用中，主要是模拟与混合信号应用。其实例之一为...
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