技术编号：5269980
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种加盖的微机械构件的制造方法、相应的微机械构件以及微机械构件的盖板。背景技术尽管可应用于任意的微机械构件，但在硅技术中的微机械构件方面阐述本发明和其所基于的背景。必须保护MEMS 构件(MEMS = Micro Electro Mechanical System 微机电系统) 以免损害性的外部环境影响——例如潮湿、侵蚀性介质等。同样需要保护以免机械接触/ 损毁以及能够通过锯切由晶片复合结构分割成芯片。过去，MEMS构件的封装借助由硅、玻璃或者由...
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