技术编号：5270081
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于制造微机械构件的制造方法。本发明同样涉及一种微机械构 件。本发明还涉及一种用于制造传感器装置的制造方法和一种这样的传感器装置，其中，该 传感器装置具有该微机械构件的、作为敏感元件的可移动(可调节)质量。背景技术加速度传感器通常构造为电容式加速度传感器。这种电容式的加速度传感器通常 包括一个设置在可移动质量上的致动器电极和一个固定地与该加速度传感器的保持结构 连接的定子电极。在电容式加速度传感器加速时，可移动质量的调节运动引起这些电极之 间...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。