技术编号：5270151
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。公开了一种用于补偿抖动的微机电系统(MEMS)装置及设备。该MEMS装置包括衬底；相对于衬底移动的从动构件；连接至从动构件和衬底的弹性构件；固定到衬底的用于驱动从动构件的驱动构件；以及固定到衬底并闩锁至从动构件的动态制动器。专利说明用于补偿抖动的微机电系统装置和设备 [0001]本发明实施方式涉及用于补偿抖动的微机电系统(MEMS)装置及设备。 背景技术 [0002]CXD (电荷耦合器件)传感器和CMOS (互补金属氧化物半导体)传感器是用于拍...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。