技术编号：5270197
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明披露一种，相异于现有技术利用单一供气循环来对工件进行各气体的输送，本发明提出了一种在沉积过程中，通过间断式重复调整输入气体的输入量，以多循环供气来有效降低石墨烯的片电阻值的方法。专利说明[0001]本发明涉及一种，更明确的说，本发明涉及一种通过不同气体的输入速率以提升其石墨烯层品质的系统及方法。背景技术[0002]石墨烯(Graphene)，是一种由碳原子以sp2杂化轨道组成六角蜂巢晶格的平面薄膜，只有一个碳原子厚度的二维材料。石墨烯目前是世上最薄但...
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