技术编号：5270206
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种阳极键合批量化生产设备，其组成包括主电器控制柜(10)，设置在所述主电器控制柜(10)上部的上壳体(6)，所述上壳体(6)内部设有批量阳极键合系统(8)，以及与批量阳极键合系统(8)相连的料盘传送系统(3)和三自由度吸附手(4)，所述料盘传送系统(3)两端分别连接有批量进料机构(2)和批量出料机构(9)，所述上壳体(6)外部设有操作面板(7)和显示器(1)。通过上述方式，本发明能够提高键合效率、增强键合强度和表面质量、适应多个品种的键合要求。...
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