传感器封装及其形成方法技术资料下载

技术编号:5270264

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一种传感器封装(20)及其形成方法(70),包括提供具有形成于被接合周界(36)划定的区域(34)内的侧面(26)上的传感器(30)的传感器晶片(74),以及提供在侧面(38)具有控制电路(42)和在相反侧面(40)具有接合周界(46)的控制器晶片(82)。控制器晶片(82)的所述接合周界(46)被接合到所述传感器晶片(74)的相应的接合周界(36)以形成在其中控制电路(42)朝外的堆叠晶片结构(48)。控制器晶片(82)被锯开以显露位于所述传感器晶片(7...
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