技术编号：5270435
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种，该包括以下步骤由增量光栅提供位置反馈信号，控制电机进行初级位置进给；切换位置反馈信号；采用绝对光栅的位置反馈信号进行闭环控制。本发明通过增量式光栅与绝对光栅的组合与切换控制，实现宏微运动平台高速运动下的高精度定位，解决了运动平台的大行程高速运动与高精度定位的矛盾，实现了宏微运动平台高速运动下的高精度定位。专利说明[0001]本发明属于微电子制造，尤其涉及一种。背景技术[0002]微电子制造装备的典型特征是要实现高速与高加速度、大行程往复运...
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