热退火工艺的制作方法技术资料下载

技术编号:5270441

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热退火工艺。提供了一种用于加工基材的方法,所述方法包括提供具有表面的基材;提供共聚物组合物,所述共聚物组合物包括聚(苯乙烯)-b-聚(硅氧烷)嵌段共聚物组分,其中聚(苯乙烯)-b-聚(硅氧烷)嵌段共聚物组分的数均分子量是5到1,000kg/mol;和,抗氧化剂,其中共聚物组合物包含>2wt%的抗氧化剂,基于嵌段共聚物组分的重量;施加上述共聚物组合物的薄膜到基材表面;任选地,烘焙上述薄膜;通过在240到350℃和包含>20wt%O2的气体气氛下加热薄膜1秒钟...
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