技术编号：5270521
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了一种采用MEMS工艺制备的双端固支压电梁式微型电场传感器。所述双端固支压电梁式微型电场传感器包括基底；以及传感器敏感结构，形成在所述基底上，具有呈栅状结构的多个双端固支梁。根据本发明的传感器具有结构简单、体积小的优点。专利说明双端固支压电梁式微型电场传感器[0001]本发明涉及微机电(MEMS)电场传感器领域，尤其涉及一种双端固支压电梁式微型电场传感器。背景技术[0002]电场测量在气象研究、航空航天、电力系统等领域有着广泛的应用。利用电场传感...
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