技术编号：5270718
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种用于静电场诱导技术的超精密平行度调整与检测系统属于超精密加工和检测领域，该系统包括基片间距及平行度检测与调整机构和基片固定制动装置，通过对基片固定制动装置上升、下降及偏转的控制实现超精密平行度调整与检测。该系统通过基片间距及平行度检测与调整机构实时检测上、下基片之间的间距和平行度，并与外部输入条件进行比较、矩阵处理，产生控制信号，控制下基片的上、下移动或偏转，从而实现对上、下基片的间距和平行度的精确控制，从而实现了对静电场诱导过程中关键参数的精确控制。...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。