技术编号：5270870
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在MEMS器件(1)中，第一驱动部(40)被分割成第一驱动部分(41)和第二驱动部分(42)。第二驱动部(50)被分割成第三驱动部分(51)和第四驱动部分(52)。通过对第一驱动部分、第二驱动部分、第三驱动部分以及第四驱动部分分别相互独立地进行驱动控制，来使光学部件(10)倾斜。专利说明MEMS器件以及具有投影功能的电子设备 [0001] 本发明涉及MEMS器件以及具有投影功能的电子设备，特别是涉及具有用于使光 学部件倾斜的驱动部的MEMS器件以及配...
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