技术编号：5271270
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种传感器及其制备方法，特别是涉及一种三维热传导型真空传感器及制作方法，属于真空技术和微机电系统。背景技术真空测量在工业、航天及核原料提纯等领域有着十分广泛的应用，传统的真空传感器种类繁多且体积较大，限制了它们在某些领域的运用，特别是运用到一些微小器件与仪器仪表中。结合真空传感器的发展历史和使用需求，目前常用真空计具有向小型化、集成化、系统化和智能化方向发展的趋势。MEMS的迅速发展，尤其是微加工技术的迅速发展，使真空传感器微型化的发展成为现实。...
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