技术编号：5271322
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微型开关，特指一种利用真空“零点能”实现驱动的量子微型开关。背景技术 随着集成电路制造技术的发展，各元器件的特征尺寸迅速减小，最近二十年来，减小的幅度大概为每六年减小一倍。目前，各元器件的尺寸和间距已经达到了亚微米级，随着MEMS器件的进一步发展，各元器件的尺寸和间距也必将进一步减小，引起的量子效应就会越来越明显；同时随着尺寸的减小，元器件本身的质量将不断减小，那么综合以上因素，以前可以不考虑的量子机械影响因素就不得不考虑了。目前Casimir力...
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