近场光学固体浸墨透镜型微小孔径激光器及制作方法技术资料下载

技术编号:5271331

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本发明属于半导体,涉及近场光学、纳米光学、表面等离子体亚波长光学和纳米,特别涉及。背景技术 纳米级微小光源是微区成像、微区探测、近场光存储和近场光刻等应用领域的关键器件之一,对于纳米光学、亚波长光学有巨大的应用前景。目前被广泛应用的带有纳米孔径的金属膜光纤探针通光效率很低,难以满足探测、光存储和光刻等领域的实际要求,大大限制了此类器件的应用。为了突破纳米光源光强太弱的缺点,人们提出了微小孔径激光器的设计思路。即在半导体边发射和面发射激光器出光表面镀上不透光...
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