技术编号：5271332
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微电子机械系统加工领域，特别是一种MEMS传感器悬梁结构的制造方法。背景技术微机电系统(MEMS)是利用半导体工艺，来制造整合机械及电子元件，以达到系统微小化的目的。MEMS的加工工艺多种多样，有传统的体加工工艺、表面牺牲层工艺、深槽刻蚀与键合工艺相结合、SCREAM(Single Crystal Reactive Etching and Metallization)工艺、LIGA工艺等。其中，SCREAM工艺是一种用来制造沿晶圆片水平面上移动的...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。