技术编号：5271477
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于传感器，具体来说，涉及一种易于封装的磁场传感器。背景技术磁场传感器有着悠久的历史，指南针的实用新型，到现在有着更加广阔的应用领域，智能通讯、交通导航、数据存储等都需要使用磁场传感器。随着微机电系统(MEMS)技术的发展，大大推动了 MEMS磁场传感器的发展，出现了一些微型磁场传感器的结构，硅技术的大批量制造使得昂贵的设计制造成本得到了极大的降低，同时新发展的MEMS工艺能够在硅衬底上利用IC后处理工艺制作各种机械结构，为磁·场传感器的设计开辟...
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