技术编号：5271558
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于智能微型器件领域，主要涉及微机电系统(MEMS)技术、微加工技术以及光栅衍射技术等。背景技术闪耀光栅能将出射光的绝大部分能量集中到某一特定方向或特定衍射级或特定波长上，极大提高了光栅的衍射效率，因此在各个领域得到了广泛应用。闪耀角可调微机械光栅是一种全新概念下的光栅，以微机电系统(MEMS)为基础,米用微加工技术制作。通过对光栅驱动电路的可编程控制，实现对光栅闪耀角的动态调制，从而使衍射光谱产生相应改变。闪耀角可调微机械光栅具有响应速度快、成本低...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。