技术编号：5271562
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及，属于微机电系统(MEMS)领域。背景技术热线传感器是流场信息测试领域中重要的测量器件之一。它作为一种高效、可靠的测量器件，常用于流场流动状态的检测。基于MEMS的壁面热线微传感器因具有动态响应快、灵敏度高以及信噪比高等优点，在流体壁面剪应力和非定常流测量中具有广泛的应用前景。而采用聚酰亚胺柔性基底的壁面热线微传感器不仅具有常规壁面热线微传感器的全部优点，而且可以应用于机翼、机身以及涡轮叶片等各种复杂型面的测量，为相关模型的实验空气动力学提供了可...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。