热位移元件与使用这种元件的辐射检测装置的制作方法技术资料下载

技术编号:5271596

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本发明涉及用于诸如热红外线检测装置等热辐射检测装置的热位移元件,并涉及使用这种元件的辐射检测装置。背景技术 例如,静电电容型热红外线检测装置和读光型热红外线检测装置,迄今已涉及包含基体(基片)和支撑在这一基体上的被支撑的部件的热位移元件的使用(日本专利申请公开No.8-193888,U.S.P.3,896,309,日本专利申请公开10-253447及其它)。被支撑的部件具有红外线吸收部分,它接收并把红外线转换为热,以及位移部分,它与红外线吸收部分热连接并基...
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