技术编号：5271642
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及纳米制备、纳米加工和纳米器件的应用，特别涉及宽量程纳米真空规及其制备方法。背景技术 目前市场上现有的真空规，主要可分为电阻真空规，热偶真空规和电离真空规等。电阻真空规是利用加热元件的电阻与温度有关、元件的温度又与气体传导有关的原理，通过电桥电路来测量真空度的真空规，其测量范围1×104帕～1×10-1帕。热偶真空规是利用热电偶的电势与加热元件的温度有关、元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空规，其测量范围1×102帕～1×10-1...
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