技术编号：5271652
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种静电驱动结构的制备方法，具体来说，涉及。背景技术可调光衰减器(VOA)是光网络中的一种重要的光纤无源器件，是组成光放大器的关键部件，在光纤通信系统中起到功率平衡的关键作用。MEMS可调光衰减器性能可靠，结构紧凑，造价低廉，易于批量生产，具有广泛的发展前景。目前的MEMS光衰减器主要有微镜结构，通过静电驱动实现微镜的上下偏转。驱动结构有平板型和梳齿型，平板型难以实现线性控制，梳齿则需要上下交叠，因此加工通常采用硅片正反面加工实现，工艺复杂。发明...
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