技术编号：5271689
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微纳制造，具体涉及。背景技术当今时代是一个以光电子信息技术为主要特征的时代，由于有序纳米微结构具有微纳结构器件的特征，所以广泛应用于微纳米，如光电子器件、光伏器件等。这使得有序纳米微结构的制备在微纳制造领域内一直倍受关注。现阶段制备纳米微结构主要有两种方法一种是传统微加工方法，即“自上而下(top-down) ”方法，如各种光刻技术及微压印技术等。这些方法通常要求昂贵的设备或很长的加工时间，而且，光刻技术由于加工原理的局限性，已被普遍认为接近其极...
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