柔性基底薄膜表面微结构的形成方法技术资料下载

技术编号:5271720

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本发明属于微纳米制造,具体涉及一种。背景技术随着柔性电路和柔性器件的逐渐推广应用,柔性结构设计和优化尤为重要。柔性传感器,激振器和柔性电子电路等是目前正在兴起的一个重要学科领域。利用柔性基底薄膜结构表面屈曲实现柔性结构在服役过程中的功能是已经广泛采用的一种手段。NedBowden等通过在柔性基底PDMS表面镀金膜,镀膜过程中产生的温度变化,使得薄膜基底系统自发性地发生屈曲褶皱。后续有诸多学者从理论和实验对这种薄膜基底系统由于失配应变引起的屈曲进行了研究。从...
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