一种在高温环境下具有高稳定性的压力传感器微纳结构的制作方法技术资料下载

技术编号:5271802

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本发明涉及一种在高温环境下具有高稳定性的压力传感器微纳结构,属于航空压力传感器制造。背景技术航空发动机技术被誉为现代工业“皇冠上的明珠”,是一个国家科技、工业、经济和国防实力的重要标志。航空发动机是具有复杂的气动力、热力和结构的动力装置,它的性能好坏影响着飞机的性能。随着航空发动机向高增压比、高涡轮进口温度、高推重比、及高可靠性发展,在复杂多变的条件下,测量瞬变过程中的发动机高温区动态压力和流场特性并掌握其变化规律,对于实现发动机控制和调节是极其重要的。现...
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