技术编号：5271803
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种高灵敏SiC压力传感器的制备方法，属材料制备。背景技术传感器技术是人类认识和改造世界的“五官”，是衡量现代化进程的关键技术之一，与通信和计算机技术构成了信息产业的三大支柱。据2011年IHS iSuppli公司的微电子机械系统与传感器研究报告，由于在航天航空、石油化工、地热勘探、医疗、汽车等应用领域的不断扩大，压力传感器将于2014年成为头号MEMS器件。当前压力传感器技术面临的主要挑战之一是高温传感器的研发。随着探索自然的不断深入，人们对能...
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