技术编号：5271870
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的涉及微机电系统(MEMS)。背景技术 微机电系统(MEMS)包括微机械元件、激励器及电子设备。微机械元件可采用沉积、蚀刻和/或其它可蚀刻掉衬底及/或沉积材料层的若干部分或可添加若干层以形成电气和机电装置的微机械加工工艺制成。一种类型的MEMS装置称为干涉式调制器。本文所使用的术语干涉式调制器或干涉式光调制器是指利用光学干涉原理选择性地吸收和/或反射光的装置。在某些实施例中，干涉式调制器可包含一对导电板，其中之一或二者全部或部分为透明和/或反射性，且...
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