技术编号：5271877
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微电子机械系统(MEMS)领域，特别是关于一种在MEMS结构设计中预测微结构力学特性的方法。MEMS(微机电系统)作为跨学科的先进制造技术，对改善人们的生活质量，提高生活水平以及增强国力起到了重要的作用。八十年代末，加州大学伯克利分校与其它大学和公司一起合作开发了优化的牺牲层工艺，随后ADI、SANDIA等公司也开发了一些标准MEMS工艺，众多的MEMS研究人员利用这些工艺设计了大量的MEMS结构。开发一个优化的、成品率高、稳定性好的工艺流程是一...
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