技术编号：5271912
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及一种具有振动电极与固定电极的驻极体电容器，特别是涉及使用微机电系统(MEMS，Micro Electro Mechanical Systems)技术形成的驻极体电容器。背景技术 目前应用在驻极体电容器麦克风等元件、具有永久电气极化的电介体驻极体电容器中，使用了在构成平行平板型电容器的固定电极与可动电极之间具备驻极体膜及空气隙(空孔)层的构造。驻极体电容器中，空气隙层的厚度与电容器的电容值直接相关，对麦克风等性能造成极大影响。换句话说，若将空气隙...
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