技术编号：5271926
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种扭转谐振器和采用其的滤波器，具体而言，涉及在高密度集成电路中利用扭转谐振实现高性能滤波电路的方法。背景技术 将参考图18讨论相关技术中的机械谐振器。图18是示出了非专利文献1中介绍的“采用弯曲振动的机械振动滤波器”的构造的示意图。所述过滤器是通过采用薄膜工艺在硅衬底上形成图案而形成的，所述过滤器包括输入线104、输出线105、固支-固支(clamped-clamped)横梁101和102以及耦合横梁103，固支-固支横梁101和102的位置相...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。