技术编号：5271952
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。制造f汙射光栅元件的方法本发明涉及光学衍射光栅的制造。 背景技术衍射光栅在光学中用于将光耦合进波导结构或从波导结构耦合出来。衍射光栅也可用于提供包括若干波长的光的角色散(angular dispersion)。美国专利6,579,477公开了 一种用于通过使用模具的复制来制造衍射 光学部件的方法。模具用脱模剂(release agent)处理。基底用粘合增进剂处 理，并用复制材料覆盖。为了复制模具的轮廓，模具被压至加热的复制材 料。美国专利5,629,80...
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