技术编号：5271975
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种电磁激励高阶模态谐振式微机械悬臂梁的驱动结构、制作方法及应用，具体而言，是采用与悬臂梁高阶谐振模态的振动函数曲线相匹配的优化布置电磁激励线圈，产生与该模态悬臂梁相应位置运动方向相同的洛伦兹力驱动悬臂梁振动。本发明属于微机械传感器。背景技术 谐振式微机械悬臂梁传感器由于具有高分辨率、高灵敏度、快速响应和数字式输出信号等特点，而被广泛应用于生化检测、压力敏感、惯性测量等传感，其中作为质量敏感传感器在环境监测、医疗诊断等方面具有广阔的应用前景。该传...
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