技术编号：5272016
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及特殊纳米结构的制备。具体而言，涉及一种结合干法刻蚀和湿法腐蚀工艺来制备特殊形状纳米结构的方法。背景技术 纳米结构的制备一直是微细加工领域中的一个重要课题，尤其是在微/纳机电系统中尤为重要。微/纳机电系统是利用电磁理论、经典力学、热力学、量子力学以及分子动力学等物理原理构建的微/纳米尺寸器件的系统，即在电路上加入纳米薄膜、梁、弹簧等机械元件以实现对环境进行感知、决策和控制的能力。就微机电系统(MEMS)而言，已经有压力传感器、加速度计和微机械陀螺等...
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