技术编号：5272094
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及硅系列材料的加工技术和硅系列构造体的制造技术。在本说明书中，所谓硅系列材料是指单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等。所谓硅系列构造体是指制造中或制造后包含硅系列材料的构造体。在硅系列构造体中也可包括硅系列材料以外的材料。背景技术 由于半导体制造技术的发展，开发出各种硅系列材料的加工技术。通过应用该硅系列材料的加工技术，不只是MOS(Metal OxideSemiconductor)等半导体元件，还可制造出带有传感器或促动器等功能的各种硅系列构造体。在...
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