技术编号：5272132
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在同一衬底上形成有结构体及具有半导体元件的电路的。背景技术 微机械还称为MEMS(Micro Electro Mechanical System；微机电系统)或MST(Micro System Technology；微系统技术)，是指将微小的机械结构体和电路融合到一起的综合系统。所述结构体与一般半导体元件不同，它具有三维立体结构，在很多情况下其一部分能够移动。并且，所述结构体能够具有各种各样的功能如传感器、致动器(actuator)、电感器或可变...
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