技术编号：5272172
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及。技术背景采用微机械加工技术制作的MEMS谐振器由于具有低功耗、高Q值、宽频带、 体积小、以及能与CMOS工艺兼容等优点，因此人们正逐步采用MEMS谐振器代替 传统的片下、大体积频率选择器件，以满足低功耗、低成本、高性能、高集成度无线 通讯技术的需求。另一方面，由于谐振器的谐振频率对环境参数具有非常高的灵敏度， 所以MEMS谐振器在高灵敏度谐振传感检测方面也极具潜力，如生化传感器、压力传 感器、加速度计、陀螺等器件均可采用谐振方式检测信号。目前，...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。