技术编号：5272193
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种可通过几何变化调节共振频率的微机械装置，以及该 微机械装置的操作方法，该微机械装置例如适用于与共振微观扫描镜(resonant'micro scanner mirrors)连接。技术背景具有振动系统的微机械装置被用于微机械传感器和微机械动作器。振 动系统由振动体和弹性悬架构成，该振动系统存在固有频率或共振频率。 在许多应用例中，振动系统的共振频率必须与固定的预定频率一致以便利 用共振增强来实现足够的灵敏度(例如传感器)和足够的共振幅度(例如 ...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
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