技术编号：5276415

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背景技术1. 发明领域本发明涉及半导体制造。2. 相关技术的描述在半导体装置例如集成电路、存储单元等等的制造中，执行一 连串的制造操作，以限定半导体晶片的特征。半导体晶片包括集成 电路装置采用硅衬底上限定的多级结构的形式。在衬底级别，形成 了带扩散区域的晶体管装置。在后续级别，互连金属线被图案化， 并电连接在晶体管装置上，以限定所需的集成电路装置。另外，图 案化的传导层通过电介质材料而与其它传导层隔离开。用于限定半导体晶片上的特征的系列制造操作可包括用于将...
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• 罗老师：低维纳米材料（纳米颗粒、纳米线/管/框/片、二维材料）的电子显微分析以及基于电子显微分析结果的先进能源材料设计、制备和器件应用。
• 焦老师：新能源材料设计、合成及应用研究。主要包括：1二氧化碳电催化还原、电催化分解水制氢等；2原子界面电极材料的制备及能量转换技术研究。
• 蒋老师：以储能和能量转化为导向的功能材料及器件研究，包括：锂离子电池、锂硫电池、钠离子电池、固态电池及其它新型化学电源
• 丁老师：1.材料物理与化学 2.新能源材料与技术 3.纳米多孔金属 4.纳米催化/电催化 5.化学合成及修饰 6.燃料电池 7.生物传感器
• 孙老师：1. 仿生分离技术的开发 2. 光化学 3. 仿生催化体系的设计及作用机理研究 4. 仿生材料的设计、合成及应用研究