技术编号:5276511
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明的分层微细电铸加工方法及装置,属于电铸加工领域。背景技术 微机电系统(简称MEMS)是当今科学技术最重要的进展,也是世界科学的主要研究热点。微细制造技术是MEMS技术的基础和核心,直接关系到MEMS产品的生成。随着MEMS技术的发展,对具有三维空间的微细结构和具有高深宽比微细结构的需求增多,如喷墨打印头喷嘴、惯性测量部件、磁性微系统等。美国Microfabrica公司发明的EFAB技术是制造具有高深宽比三维复杂微细结构的最重要技术之一,已成功制备了多...
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