技术编号:5279848
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种具有多组晶圆电镀结构体的电镀槽组合改良设备,尤指在电镀槽内的每一隔槽内装设数根夹具头、隔板、导电体,并与多孔板及弱电解板所组装形成具有多组式晶圆电镀结构体的电镀槽组合改良设备。背景技术目前,在市面上装设有单一电镀槽作为晶圆的电镀设备,其缺点是产生电镀液使用量多易老化变质,无法作多片式的电镀作业,另有改良式的单槽串连装设形成多槽进行晶圆电镀作业,改机体可以作多片电镀作业,但是装设设备的成本增加,不符合成本效率,况且电镀的作业性困难提高实用新...
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