技术编号:5281528
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种电镀处理器,所述电镀处理器包括用于支撑隔膜的薄下部隔膜支撑件。下部隔膜支撑件可以被提供为具有通过开口图案的柔性塑料板。通过开口可以与刚性上部隔膜支撑件中的开口对准。下部隔膜的周边可被夹紧在与用于夹紧和密封隔膜周边相同的周边密封中。下部隔膜支撑件支撑隔膜而不显著地增加处理器的总高度。处理器可被堆叠在双层处理系统中而不需要额外的清洗室空间。专利说明具有薄隔膜支撑件的电镀处理器发明领域[0001]本发明涉及一种具有薄隔膜支撑件的电镀处理器。背景技术...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。