技术编号:5281533
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了,阳极和激光发生机构相连,防护镜位于激光发生机构和阳极之间,阴极为沉积基板,所述沉积基板设置于沉积槽内,电源分别连接阴极和阳极;Z轴移动平台分别与阳极和激光发生机构相连,X轴移动平台和Y轴移动平台依次设置于沉积槽之下;恒温储液机构的进液端和阳极相连,回液端和沉积槽相连,控制器分别连接激光发生机构、电源、X轴移动平台、Y轴移动平台、Z轴移动平台和恒温储液机构。本发明将高能量密度激光束和高速电沉积溶液通过管状的钝性阳极中心孔同步射向阴极表面,实现激...
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